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Oral-Poster-Präsentation

Einfluss von Sputtertemperatur und Schichtdicke auf die elektrischen Eigenschaften von Dünnschicht-Dehnungssensoren bestehend aus Nickel-Kohlenstoff-Nanokompositen

Donnerstag (27.06.2019)
09:54 - 09:57 Uhr

Hybride Laminate aus faserverstärkten thermoplastischen Folien und metallischen dünnen Blechen ersetzen aufgrund ihrer deutlichen Vorteile höherer Formbarkeit und Eignung für die Massenproduktion sukzessive Duroblast-basierte Systeme. Um diese noch junge Materialklasse im Betriebszustand zu überwachen, müssen hybride Laminate mit intelligenten Sensoreinheiten ausgestattet werden. Da eine artifaktfreie Integration von kommerziellen Dehnungsmessstreifen in hybride Laminate nahezu unmöglich ist, müssen neue Dehnungssensoren entwickelt werden, um eine artefaktfreie Integration in hybride Laminate zu ermöglichen.

Ziel dieser Arbeit ist es, sowohl den Einfluss der Schichtdicke als auch die erhöhte Temperatur während des Sputterprozesses auf die elektrische Performanz von Ni-C-Dehnungssensoren zu untersucht. Ni-C-Dünnschichtfilme wurden über das Magnetron Sputter Verfahren hergestellt und mittels Vier-Punkt-Methode analysiert, um den Flächenwiderstand und die Änderung der Temperaturkoeffizienten unterschiedlicher Schichtdicken und nach unterschiedlichen Sputtertemperaturen zu bestimmen. Darüber hinaus wurde die Raman Spektroskopie genutzt, um die Phasenentwicklung nach unterschiedlichen Sputtertemperaturen aufzuzeigen. Es kann gezeigt werden, dass der k-Faktor verdoppelt werden kann, wenn die Schichtdicke ein ideales Maß erreicht. Bei Erhöhung der Sputtertemperatur, wird die Graphitphasenbildung bevorzugt und Störstellen reduziert. Diese Ergebnisse werden in der Arbeit diskutiert und Lösungskonzepte aufgezeigt.


 

Sprecher/Referent:
Christos Karapepas
Technische Universität Chemnitz
Weitere Autoren/Referenten:
  • Prof. Dr. Daisy Nestler
    Technische Universität Chemnitz
  • Prof. Dr. Guntram Wagner
    Technische Universität Chemnitz